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先给结论:洁净窗内腔一旦长霉,擦不到也修不了,最后只能整块拆换;选型时把腔体密封与腔体调质两道关口卡住,就能避开这种报废。洁净窗是洁净室围护结构上的观察类部件,由双层或多层玻璃与中间密闭腔体构成,腔体密不密封、有没有做过调质,决定它会不会起雾长霉。洁净窗在洁净室运维里常被当成“擦干净就行”的部件,真正难处理的问题却在内腔:一旦起雾长霉,隔着玻璃看得清、手伸不进去,最后只能整块拆换。要避开这种只能换...
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